中頻烘烤除氣設備
產品概述
主要用于高純石墨坩堝、舟及零件等快速烘烤除氣。
產品參數
| 技術參數 | |
|---|---|
| 類型 | 中頻加熱、電阻爐加熱 |
| 腔室 | 150-350mm |
| 抽速 | 根據腔室尺寸配置 |
| 限真空度(空載) | 優于5×10-5mbar? 可選配膜過濾冷阱,需水冷 |
| 其他參數 | |
| 供電電源 | 三相五線 380V±5%, 50~60Hz |
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